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由于文字描述的限制，我无法直接提供香薰机的拆解步骤和香薰机内部结构的拆分图，但我可以大致描述一下香薰机的内部结构以及拆解的一般步骤。
香薰机通常包括外壳、电路板、雾化器、水箱等几个主要部分，内部结构拆分图可能包括这些部分的详细布局和连接方式。
拆解的一般步骤可能包括：
1、拆卸外壳：通常香薰机的外壳是通过螺丝或者卡扣固定的，需要小心打开。
2、取出电路板：电路板通常是通过焊接或者插接的方式连接到其他部件上，需要小心地将电路板从其他部件中取出。
3、拆卸雾化器：雾化器是香薰机的核心部件，通常需要通过拆卸螺丝或者解开连接线来取出。
4、拆卸水箱：水箱通常是可拆卸的，以便加水或者清洗。
在进行任何拆解之前，最好先了解设备的结构并查阅相关的操作指南或手册，不同型号的香薰机内部结构可能有所不同，拆解方式也会有所不同，拆解过程中要小心谨慎，避免损坏设备或造成任何安全隐患。
如果您需要更具体的拆解步骤和内部结构拆分图，建议您联系香薰机的制造商或查阅相关的产品手册，他们可能提供更详细和准确的信息。